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自動搬送システム搭載 垂直型高性能プラズマデスミア装置（14/28/30パネル） 真空プラズマ フルインライン連続式プラズマ洗浄装置 真空プラズマ 260mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：24～200μm） 真空プラズマ 大気圧プラズマ 真空プラズマ 大気圧プラズマ 大気圧プラズマ プラズマ洗浄装置 真空プラズマ 反応性イオンエッチング装置（RIE） 真空プラズマ 連続式プラズマ洗浄装置（トレイタイプ） 真空プラズマ 大気圧プラズマ 大気圧プラズマ 垂直型高性能プラズマデスミア装置（14/28/30パネル） 真空プラズマ 大気圧プラズマ 垂直型プラズマデスミア装置（標準型、15/28パネル） 真空プラズマ 真空プラズマ 大気圧プラズマ 520mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：24～200μm） 真空プラズマ 大気圧プラズマ 大気圧プラズマ 520mm ロール・トゥ・ロール式標準型プラズマデスミア装置（対応板厚：36～140μm） 真空プラズマ 大気圧プラズマ 大気圧プラズマ 大気圧プラズマ 大気圧プラズマ 水平型プラズマデスミア装置（標準型、10パネル） 真空プラズマ 520mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：12～200μm） 真空プラズマ 垂直型連続式プラズマ洗浄装置 真空プラズマ 連続式プラズマ洗浄装置（ストリップタイプ） 真空プラズマ 大気圧プラズマ プラズマレジスト剥離装置（アッシャー） 真空プラズマ 連続式プラズマデスミア装置 真空プラズマ 大気圧プラズマ