製品

自動搬送システム搭載 垂直型高性能プラズマデスミア装置（14/28/30パネル）
NEMST-DP2002ALS series

フルインライン連続式プラズマ洗浄装置
NEMST-2002ILseries

260mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：24～200μm）
NEMST-D2002R2R_26

NEMST-TB2012系列

プラズマ洗浄装置
NEMST-2002 series

反応性イオンエッチング装置（RIE）
NEMST-RIE2018 series

連続式プラズマ洗浄装置（トレイタイプ）
NEMST-2002ILT series

垂直型高性能プラズマデスミア装置（14/28/30パネル）
NEMST-DP2002 series

垂直型プラズマデスミア装置（標準型、15/28パネル）
NEMST-D2002 series

NEMST-HPE2018 系列

520mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：24～200μm）
NEMST-D2002R2R_52

520mm ロール・トゥ・ロール式標準型プラズマデスミア装置（対応板厚：36～140μm）
NEMST-D2002R2RII_52

水平型プラズマデスミア装置（標準型、10パネル）
NEMST-D2002H series

520mm ロール・トゥ・ロール式高性能プラズマデスミア装置（対応板厚：12～200μm）
NEMST-D2002R2RIII_52

垂直型連続式プラズマ洗浄装置
NEMST-2002ILP series

連続式プラズマ洗浄装置（ストリップタイプ）
NEMST-2002IL series

プラズマレジスト剥離装置（アッシャー）
NEMST-AS2002

連続式プラズマデスミア装置
NEMST-D2002ILD NEMST-D2002ILS