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產品介紹
連續式電漿清洗機(Strip Type)
NEMST-2002IL系列
暉盛科技亦推出連續型電漿清洗機(NEMST-2002IL系列),其特點為全自動線生產,免去人工取放彈匣的動作,以降低污染風險,同時可獲得更佳的清潔效果及均勻度,逐漸成為下一波電漿清洗製程的典範。
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特色/設計說明
性能特點
應用/解決方案
連續式電漿清洗模式 。
獨特氣流設計。
高速清洗設計: 一般每循環時間約為28~33秒(含上料、電漿處理及下料)。
低溫電漿清洗設計。
腔體中可擺放基板數目:每循環可同時處理2~3條或5~6條。
可選擇手動或自動操作模式。
可單機處理,亦可與前、後站機台連線。
適用於多種氣體,例如氬氣、氧氣、氫氣或混合氣,以達到最佳之清潔效果。
適用於物理反應、化學反應、物理及化學反應同時產生之方法。
極佳之清潔均勻性。
氣體消耗量極少。
可適用於IC封裝或LED封裝於固晶、打線或封膠前的基板清潔。
適用於晶圓之清潔。
可清洗Flip-Chip, PBGA, Window-BGA, Mini-BGA, Micro-BGA, QFN/MLP, TFBGA (Film-BGA), LFBGA, VBGA (EBGA), Pin BGA, QFN/MLP, TCP, PCB, COB, Cu L/F, Ag-Plating L/F, Fe L/F, MMC, SD, Micro-SD等各式基板或導線架。
適用於各電子或非電子元件之電漿清潔
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